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「FC6000」資料

「FC6000」資料

変換器一体形コントローラによりコンパクトなシステムを実現

流量範囲:最小2.5~25mL/min
     最大1~10L/min
流体温度:5~50℃
流体圧力:0.3MPa max.
精度  :指示値の±1%

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